RION/日本理音液體粒子計數(shù)器，可檢測從純水到氫氟酸各種各樣的液體。液體計數(shù)器的使用是為了控制化學(xué)品中的粒子，如半導(dǎo)體制程中的專用材料比如SOG和光阻材料，超純水和清洗用化學(xué)劑比如堿，有機溶劑和氫氟酸。另外，也可檢測化學(xué)機械拋光中大粒徑的研磨液，測試方法包括在線和離線測試。

特點優(yōu)勢

光學(xué)方式 側(cè)方散亂方式

光源 半導(dǎo)體.固體激光器（輸出800mW、波長532nm）

接觸部材質(zhì) 藍(lán)寶石、PFA

粒徑測量范圍 0.03μm～0.13μm以上

粒徑段 1點~10點任意設(shè)定