潔凈室大顆粒檢測用這臺儀器就夠了!
- 2025-06-16
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- 深圳市億天凈化技術有限公司
傳統潔凈度檢測的三大「致命痛點」
在半導體 / 精密制造中,5μm 以上大顆粒污染可直接導致芯片短路、產品良率下降。傳統「吸入式采樣 + 顯微鏡檢視」模式存在致命缺陷:
1、大顆粒「漏檢」危機:5μm 以上粒子因重力作用難以被有效吸入,實驗室數據與實際污染狀況偏差超 50%;
2、二次污染「蝴蝶效應」:樣本搬運及顯微鏡觀察過程中,粒子易脫落或混入新污染物,誤差率高達 30%。
3、工具「錯位」困局:光學粒子計數器對表面附著粒子的檢出效率不足懸浮粒子的 1/10,無法應對機臺、墻面等關鍵場景。
PartSens4.0 大顆粒檢測儀「三大革新」
1.VDA 認證的「視斜光檢測系統」
作為唯一被歐洲質量規格VDA19.2「組裝過程的潔凈技術」收錄的設備,采用 ISO14644-9 視斜光系統,數秒內生成粒子立體外型、大小、數量全維度數據。可精準區分非金屬性粒子(<5μm~>3000μm)、金屬性粒子(<25μm~>3000μm)及纖維(<50μm~>3000μm)。
2. 「取樣即判讀」的全場景移動檢測
摒棄「取樣 - 搬運 - 判讀」的冗長流程,內置雙鋰電池和無線傳輸,支持無塵室前廳、工作桌、機臺內外等全場景移動取樣。搭配專用 TapeLift Pad 取樣墊片,對凹凸表面粒子有效移轉率高達 99%。
3.數據化管理「三維透視」污染源
多維度粒子分析:實時顯示粒子大小、種類、數量分布。
可視化操作界面:觸控屏搭配顏色分類顯示,粒子性質與分布狀況一目了然,數秒內即可完成單次檢測。
三步構建「診斷 - 優化 - 監控」閉環
流程診斷:用 PartSens 評估現有清潔流程,通過調整工具、方法、頻率等因子,確定最佳方案。
標準固化:將流程標準化,配合人員培訓,確保清潔效果一致性。
動態監控:按「目標清潔度」(風險粒子數 /cm2)實時監測,動態調整防控策略。
應用場景