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9110型粒子計(jì)數(shù)器--精確檢測(cè)0.1μm的粒子,保障半導(dǎo)體制造高良率

2024-11-25
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深圳市億天凈化技術(shù)有限公司

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AeroTrak?便攜式粒子計(jì)數(shù)器9110型

 

9110型高靈敏度粒子計(jì)數(shù)器它能精確測(cè)量0.1μm的粒子,粒徑范圍為0.110 μm,可同時(shí)檢測(cè)多達(dá)八個(gè)通道0.10, 0.15, 0.20, 0.25, 0.30, 0.50, 1.0, 5.0 μm的粒子數(shù)據(jù),1.0 CFM (28.3 L/min流速,在半導(dǎo)體超凈環(huán)境控制中,能夠?qū)崟r(shí)、準(zhǔn)確地檢測(cè)空氣中的塵埃粒子數(shù),為產(chǎn)品良率保駕護(hù)航。

 

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)

1. 精確檢測(cè)0.1μm的粒子

2. 粒徑范圍0.110 μm

3. 可同時(shí)檢測(cè)多達(dá)八個(gè)通道的粒子數(shù)據(jù)

4. 1.0 CFM (28.3 L/min流速

5. 符合ISO 21501-4標(biāo)準(zhǔn)中所有要求

6. I級(jí)和II級(jí)無(wú)塵室檢測(cè)最佳選擇

7. 完全符合ISO 21501-4要求

8. 可生成ISO-14644-1EU GMP Annex1FS209E的符合性報(bào)告

9. 通過(guò)TRAKPRO Lite Secure軟件輸出的外部認(rèn)證報(bào)告

10. 采用增強(qiáng)HeNe激光

11. 高可重復(fù)和高可靠檢測(cè)/數(shù)據(jù)

12. 數(shù)據(jù)存儲(chǔ):250區(qū),999個(gè)位置和10,000個(gè)樣本

13. USB、以太網(wǎng)和脈沖輸出

14. 工業(yè)級(jí)高分貝報(bào)警

15. 允許存儲(chǔ)和回放特定測(cè)試/配置

16. 顯示多達(dá)三個(gè)環(huán)境參數(shù)

17. 不銹鋼外殼

18. 無(wú)縫整合M32-01多點(diǎn)采樣器

19. 無(wú)塵室分類達(dá)到ISO I級(jí)

9110粒子計(jì)數(shù)器多功能的配置可以根據(jù)不同需要,可以作為單機(jī)粒子計(jì)數(shù)器使用,也可以集成于在線粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)。適用于粒子污染監(jiān)測(cè)、已安裝過(guò)濾器檢漏測(cè)試、無(wú)塵室認(rèn)證等領(lǐng)域。

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實(shí)現(xiàn)無(wú)污染的半導(dǎo)體制造對(duì)于減少缺陷和良率損失以及提高設(shè)備的可靠性是至關(guān)重要的!

隨著半導(dǎo)體行業(yè)朝著越來(lái)越小的工藝尺寸和復(fù)雜性發(fā)展,對(duì)潔凈室工藝制程關(guān)鍵區(qū)域的環(huán)境粒子精確測(cè)量至關(guān)重要,先進(jìn)的塵埃粒子檢測(cè)技術(shù)集成到半導(dǎo)體制造工藝中,是半導(dǎo)體制造質(zhì)量和卓越的基石,支持關(guān)鍵半導(dǎo)體技術(shù)的進(jìn)步。



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