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電子半導體生產環境超潔凈解決方案

  隨著半導體制程技術的飛速發展,芯片線寬已經進入納米級。與此同時,氣態分子污染物(AMC)也比顆粒污染物小了幾個數量級,逐漸取代顆粒污染物成為影響產業制程產率的關鍵因素之一。對微電子半導體制造業來說,氣態污染物會危害生產工藝的關鍵環節,造成半導體晶體表面的氧化和侵蝕,引起成品合格率降低。因此,微電子廠房內分子級空氣污染的控制也越來越重要。

  億天凈化公司提供電子半導體生產環境超潔凈解決方案,提供空氣質量檢測、控制和監測等服務。億天公司的化學過濾器、粉塵過濾器、AMC化學污染物在線監測系統、電子半導體生產環境智能在線監測系統、微粒子可視化系統、粒子計數器、AMC檢測柜、智能FFU等產品,高效節能降耗,為電子半導體生產提供全方位的潔凈、節能的空氣解決方案,提高產品質量和產品良率。




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